Точные равномерные электронные блоки фильма 3К толщины вакуумируют магнетрон ПВД брызгая оборудование для нанесения покрытия

Принцип деятельности: Брызгайте низложение физический метод (PVD) низложения пара низложения тонкого фильма путем брызгать. Это включает выкинуть материал от «цели» которая источник на «субстрат» как кремниевая пластина. Респуттеринг ре-излучение депозированного материала во время процесса низложения бомбардировкой иона или атома. Брызганные атомы выкинутые от цели имеют широкое распределение энергии, типично до десяток еВ (100 000 к). Брызганные ионы (типично только небольшая часть выброшенных частиц ионизирована — заказанн 1 процента) могут баллистически лететь от цели в прямых линиях и ударе энергично на субстратах или камере вакуума (причиняя респуттеринг). Альтернативно, на более высоких давлениях газа, ионы вступают в противоречия с атомами газа которые действуют как модератор и двигают отражающе, достигая субстраты или стенку камеры вакуума и конденсируя после проходить метод случайного блуждания. Весь ряд от с высокой энергией баллистического удара к низкоэнергическому термализованному движению доступен путем изменение давления газа предпосылки. Газ брызгать часто инертный газ как аргон. Для эффективной передачи момента, атомный вес газа брызгать должен быть близко к атомному весу цели, поэтому для брызгать светлый неон элементов предпочтителен, пока для тяжелых элементов использованы криптон или ксенон. Реактивные газы можно также использовать для того чтобы брызгать смеси. Смесь можно сформировать на поверхности цели, летной или на субстрате в зависимости от параметров процесса. Наличие много параметров которые контролируют брызгает низложение делает им сложный процесс, но также позволяет специалистам большой объем контроля над ростом и микроструктурой фильма.

Особенность: легкий для того чтобы контролировать толщину и цвет фильма, штраф и ровную частицу фильма

Применение: продукты 3К, дозор, ювелирные изделия, етк.

Зеленый процесс: отсутствие вредного газа, отсутствие сточных водов, отсутствие отходов.